西安工程大学CVD尾气处理设备采购项目采购意向

序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（具体到年月）

备注

西安工程大学CVD尾气处理设备采购项目

采购内容：CVD尾气处理设备

采购数量：1台

主要功能或目标：（1）可处理CVD机台排出的氢气、硅烷、氨气、氧气等各类尾气，无兼容性限制；（2）具备电热裂解、水淋洗涤处理功能，可实现尾气中有害成分的高效分解与吸收，全流程自动化运行，无需人工干预；（3）具有温度偏差、进出口负压异常等报警及联动保护功能；（4）具有独立循环水系统。

需满足的要求：按合同要求完成，满足国家以及行业标准，保证产品质量。

10.0

2026年7月

无