北京理工大学2026年8至9月政府采购意向

A07040203液化天然气

供应商提供液化天然气，满足北京理工大学房山分校（阎村）4吨承压热水锅炉在供暖季期间不间断24小时正常运行，供暖面积为28000平方米，本项目服务时间计划为2026年11月5日至2027年3月15日（130天），具体采暖时间按照学校通知执行。

C01030100工程和技术基础科学研究服务

1.采购标的需实现的主要功能和目标： 本次加工制备的量子自旋微机电水听器传感元件是水听器系统的核心敏感组件，其核心功能与目标如下：依托北京理工大学提供的晶圆衬底，完成TMR磁传感器芯片的正面磁隧道结刻蚀、背腔深硅刻蚀、低温低压键合关键工艺开发与样片制备，制备出具备完整密封空腔结构的样件，在微小物理尺寸内集成敏感结构与接口，***平台对元件紧凑性、低功耗及良好一致性的要求。 2.采购标的数量 本次微纳加工服务制备量子自旋微机传感晶圆1批。 3.采购标的需满足的质量、服务、安全、时效等要求 1. 质量要求 传感元件的关键工艺技术指标： 1. 优化晶圆正面TMR磁隧道结的图形化刻蚀工艺，实现TMR隧道结的基础制备；其中关键设备工艺要求如下：PECVD非均匀性优于±5%，沉积温度＜200℃；RIE刻蚀SiO2硬掩模，可控制过刻＜15%；关键MTJ层IBE刻蚀，配备元素终端检测功能，可控过刻＜5%；底电极RIE刻蚀SiO2硬掩模，可控过刻＜30%；顶电极材料：Ti/Au电极，膜层厚度精度±5%； 2. 优化晶圆背腔深硅刻蚀工艺，实现衬底硅刻蚀，制备出符合设计尺寸要求的背腔结构；其中DRIE刻蚀Si：SIOx选择比优于100，侧壁倾角优于88°； 3. 优化背腔低温低压键合首轮工艺开发与验证，实现空腔的密封封装，在低温、低压工艺条件下完成键合。实现背腔压强与外界平衡，封装温度≤250℃； 4. 工艺情况提供FIB、膜厚仪、椭偏仪、台阶仪、AFM、显微照片测试数据作为验收依据。 2. 服务要求 技术交付：供货方须提供完整的工艺测试数据报告。 质保与售后：提供不少于12个月的质量保证期（自验收合格之日起算）。质保期内因元件自身质量问题导致的故障，供方应负责免费维修或更换。 技术支持：供方需提供必要的现场/远程技术支持。 3. 安全要求 环境安全：元件材料应符合RoHS等环保标准，在生命周期内无有毒有害物质释放风险。 静电防护：所有元件交付时须采用防静电包装与操作防护提示。 4. 时效要求 供货周期：合同签订后，供货方须在180个工作日内完成1批晶圆生产、测试与交付。 交付验收：按批次交付至采购方指定地点，采购方在收到货后15个工作日内完成数量清点与性能抽检，验收标准以技术协议为准。